超高纯氮气等超高纯气体一般用在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。超高纯氮气在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用超高纯氮气置换，再用超高纯氮气置换。

1、高纯氮气消防措施

危险特性：若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。

有害燃烧产物：氮气。

灭火方法：本品不燃。尽可能将容器从火场移至空旷处。喷水保持火场容器冷掉，直至灭火结束用雾状水保持火场中容器冷掉。可用雾状水喷淋加速液氮蒸发，但不可使用水枪射至液氮。

2、高纯氮气泄漏应急处理

应急处理：迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格控制出入。贵州气体销售建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。漏气容器要妥善处理，检验后再用。

3、高纯氮气操作处置与储存

操作注意事项：密闭操作。密闭操作，提供良好的自然通风条件。烟台压缩气体，操作人员需要经过专门培训，严格遵守操作规程。防止超纯气体泄漏到工作场所空气中。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。

4、高纯氮气储存注意事项

储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。储区应备有泄漏应急处理设备。

对于超纯气体，任何微小的污染都会严重影响气体的质量，因此气体贮存和运输过程中的洁净和高度密封性特别重要。超纯气体主要采用高压钢瓶或低温液化气体容器贮存和运输。高压钢瓶坚实耐用，运输和使用灵活，气体无损耗，但气体纯度稳定性较差；低温液化气体容器单位容积贮量很大，但有气体排放损耗。

高纯氮气常在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。而在航天技术中，也需要高纯氮气做置换气体。